1、 PCW是概述：
製程冷卻水，用在冷卻機台或真空幫浦上使用，通常使用RO水或軟水來做水源就可以了，這是為了不讓機台或真空幫浦端的高溫使得冷卻水管結垢，他會不斷的在冰水機與設備端循環使用不會大量被消耗。(真空幫浦運轉時可是會產生高溫的，一些微影或蒸鍍、濺鍍的機台也是有高溫源)
2、
PCW（PROCESS COOLING WATER ）就是製程冷卻水,主要供給生產設備做為冷卻的,一般要求溫度不
能太低,溫度控制要求在16℃~22℃。若溫度控制過低，在潔淨室裏濕度比較高情況下，會出現設備結
露現象；若溫度過高責達不到設備冷卻的要求。
2、 系統說明：
系統主要由板式換熱器,水泵,PCW水箱,分冷凍水側和PCW水側等部分構成.從水箱抽水經水泵至板
式換熱器通過控制冷凍水的量來保證PCW的水溫,送至生產線設備,再回到水箱.構成PCW閉式迴圈.冷
凍水側直接回冷凍機.
3、 主要技術要求和相關參數：
1．設備 COOLING WATER 壓力要求可在 0 kg/cm2--8 kg/cm2之間可調，一般控制在6 kg/cm2左右。
2．設備 COOLING WATER 溫度控制在 18℃±2 可調。
3．主管路採用 SUS304。
4．控制部分：採用PLC和觸摸屏為核心的控制主體，泵體採用變頻控制。
4、設計說明：
1．管道部分：
（1）板式換熱器冷凍水側,採用不銹鋼SUS304材質連接,管徑大小根據設計要求而定,並做保溫處理,整
個冷凍水側回路中只裝設比例二通閥來控制冷凍水流量大小.但板式換熱器熱器冷凍水側貴司所
提供溫度的必須在7℃±1.
(2) PCW水側,採用不銹鋼SUS304材質連接,主管徑採用DN80(可根據貴司要求而定),支管管徑根據所
連接設備要求而定.管路需做保溫處理.管路上在每個支管上裝設不銹鋼材質的閥門,以便於設備
供水和維修之用, Temperature Sense 和Pressure Sense 裝設在板式換熱器PCW水側出水端,
板式換熱器PCW水側出水端需裝設篩檢程式和旁通閥以便於日後管路維護.
2、電氣控制部分
（1）壓力控制：採用以PLC和HMI及變頻器為核心的控制主體，系統將會在板式換熱器PCW水側出水
端裝設Pressure Sense 來採集PCW出水端的壓力信號回饋給PLC，PLC將所感應到的壓力信號處
理後提供給變頻器做PID處理後控制泵的運行頻率從而來控制壓力的恒定，系統由兩台泵供壓，
當兩台泵同時做變頻控制，以保持系統壓力的穩定。
（2）溫度控制：採用以PLC和HMI及變頻器為核心的控制主體，系統將會在板式換熱器PCW水側出水
端裝設Temperature Sense 來採集PCW出水端的溫度信號回饋給PLC，PLC將所感應到的溫度信號
做PID處理後來控制板式換熱器冷凍水側進水端比例二通閥的開度大小從而來控制板式換熱器冷凍
水進水流量來達到溫度恒定控制的要求。
5、PCW系統主要材料需求目錄：
管路部分：不銹鋼SUS304鋼管、閥門、篩檢程式等。
電氣部分：PLC（西門子）、觸摸屏（台達）、變頻器（ABB）、壓力探頭、溫度探頭（西門子）、
泵（川源）等。
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